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合金光譜儀(合金熒光光譜儀)能量色散x熒光光譜儀是利用熒光 x射線具有不同能量的特點(diǎn)，將來自試樣的熒光 x射線依次檢測，得到一系列幅度與光子能量成正比的脈沖，經(jīng)放大器放大后送到多道脈沖分析器。按脈沖幅度的大小分別統(tǒng)計脈沖數(shù)，脈沖幅度可以用X光子的能量標(biāo)度，從而得到計數(shù)率隨光子能量變化的分布曲線，即X光能譜圖。

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